Materiais e Tecnologias para SemicondutoresCombinar gases e químicos de alta pureza com o alcance global e tecnologias inovadores para a melhor experiência possível para o cliente

An operator testing a cylinder of GeH4 H2 outside the fill cabinet, wearing full ppe, including mask and breathing apparatus. LLH Taichung, Electronics specialty gases, Taiwan. Com base em décadas de experiência em materiais primários, desenvolvemos capacidades de valor acrescentado únicas para o fabrico de semicondutores através do nosso Centro de Excelência global.


Novos materiais e tecnologia de gases corrosivos

Em linha com o International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS), os desenvolvimentos passados e recentes nas nossas instalações
em San Marcos (E.U.A.) incluem hexafluoreto de tungsténio de alta pureza (WF6) e novos precursores para processos ALD de k elevado. 


Gases raros e halogéneos

Permitindo desenvolvimentos na litografia de ultravioletas de alta frequência (DUV), a nossa central Alpha (E.U.A.) foi pioneira nas misturas de gás de halogéneos de alta pureza para lasers de excímero de 248nm e 193nm. Outras áreas de conhecimento incluem a reciclagem de xénon e gases e químicos enriquecidos isotopicamente.

 
Tecnologia de flúor para limpeza de câmara limpa

As nossas instalações em Inju (Coreia) estão a ter um papel pioneiro na última geração de geradores de flúor modulares de baixo custo. A importância desta tecnologia isenta de carbono está a crescer à medida que a indústria tem de lidar com uma legislação relativa ao ambiente cada vez mais rigorosa.

Também estamos envolvidos em programas de desenvolvimento conjunto com clientes importantes, fabricantes de equipamento original, organismos académicos e consórcios industriais.


Espectro total

Oferecemos uma gama total gases para suportar todos os processos de fabrico de semicondutores:

  • Gases de alta pureza liquefeitos 

  • Geradores de gases On-site 

  • Gases especiais para eletrónica fornecidos em garrafas e liquefeitos.

 

Gases Liquefeitos para eletrónicaGases especiais para eletrónica
AzotoGases de fonte de silício
HidrogénioCrescimento de nitreto / óxido
ArgonDopagem e implantes
OxigénioMetal e gravação dielétrica

 

A AUECC, uma empresa do Grupo Linde, especializa-se no fabrico e distribuição de químicos húmidos de alta pureza para a indústria global da microeletrónica. Saiba mais.

 
Conhecimentos em sistemas e serviços

Adicionalmente, oferecemos uma vasta gama de serviços profissionais que permitem ao cliente concentrar-se na sua atividade principal e manter as operações em funcionamento. Estes vão desde serviços de conceção e instalação integral, até à gestão integral dos seus sistemas de gases e incluem:

  • Sistemas de armazenamento e distribuição de gases liquefeitos 

  • Sistemas de gases especiais liquefeitos 

  • Cabines de gás e rampas de distribuição de gases 

  • Gestão completa de gases e químicos.