Disponibilizamos uma vasta gama de tecnologias de valor acrescentado para o ajudar a alcançar o seu custo específico e a cumprir os desafios ambientais.
Produção de flúor On-site
Fomos pioneiros na utilização de flúor molecular (F2) como substituto de gases como, por exemplo, o trifluoreto de azoto (NF3) e o hexafluoreto de enxofre (SF6) que têm um elevado potencial de aquecimento global. Estes são utilizados atualmente para limpar câmaras de deposição química em fase de vapor (CQFV) no fabrico de monitores de ecrã plano. Os nossos geradores de flúor On-site Generation-F® disponibilizam o gás de limpeza mais eficiente, reduzindo o tempo de limpeza em mais de 50%, o que reduz o tempo de inatividade e melhora a produção da linha até 10%.
Produção de azoto
Os nossos geradores de azoto SPECTRA-N™ são a forma mais rentável e fiável de fornecer azoto de alta pureza em grandes quantidades requeridas pelos fabricantes de TFT-LCD. Com níveis de impurezas no gás inferiores a 1ppb,
o sistema SPECTRA-N consome menos energia do que os geradores convencionais e também proporciona excelentes capacidades de rejeição de modo a cumprir os requisitos de incremento das instalações.
Espectro total
Oferecemos uma gama total de produtos de gases e químicos para suportar todos os processos de fabrico de ecrãs planos TFT-LCD:
Gases de alta pureza liquefeitos
Geradores de gás On-site
Gases especiais para eletrónica em garrafas e liquefeitos
Químicos de processo especiais e húmidos.
Materiais para fabrico de TFT-LCD
| Gases Liquefeitos | Gases especiais para eletrónica |
| Azoto | Silano |
| Hidrogénio | Trifluoreto de azoto |
| Hélio | Flúor (produção On-site) |
| Oxigénio | Hexafluoreto de enxofre |
| Argon | Amoníaco |
| Dióxido de carbono | |
| Misturas de fosfina |
Os requisitos exatos variam consoante a região do processo e fabrico.
Conhecimentos em sistemas e serviços
Adicionalmente, oferecemos uma vasta gama de serviços profissionais que permitem ao cliente concentrar-se na sua atividade principal e manter as operações em funcionamento. Estes vão desde serviços de conceção e instalação integral, até à gestão integral dos seus sistemas de gases e incluem:
Sistemas de armazenamento e distribuição de gases liquefeitos
Sistemas de gases especiais liquefeitos
Cabines de gás e rampas de distribuição de gases
Gestão completa de gases e químicos.
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